均一的焙烤温度｜热传导率良好，整个主体温度均一，阀内气体冷凝后的生成物附着锐减。

轻量·紧凑｜主体小，流导大。耐氟素腐蚀性出色。

气体溢出少｜由于气体溢出少，所以泵的功耗小，排气时间也短。

重金属污染少｜不含N i（镍）、Cr(铬）等重金属，溅射率也很小，因此对半导体晶片的重金属污染较少。